S 系列
外型小巧、低成本、高速冲程的气动风囊泵
高速冲程
提升泵的冲程速度 (最高达240 spm)，让制造过程中，大大减少泵的尺寸、重量、成本，及降低脉动。
无污染设计
过流端零件均采用氟树脂材质，没有金属零件外露的设计，外壳采用氟树脂材质。使用独有的轴封 (已申请专利)，能显著降低颗粒的产生。
液体输送温度范围宽泛/高吐出压力
液体输送温度范围高达5 - 180°C，吐出压力高达45MPa。不仅适用于清洗和CMP制程，同时适用于化学液体供药。
易于维护
更换开关无需拆卸，不需定期收紧螺栓，减少了停机时间。
传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量。
规格
最大吐出量 | 55 L/min |
最大吐出压力 | 0.5 MPa |
最大耗气量 | 670 NL/min |
最大冲程率 | 240 spm |
主要材质 | PTFE, PFA |
液体输送温度范围 | 5 ~ 180 °C |
S 系列
外型小巧、低成本、高速冲程的气动风囊泵
高速冲程
提升泵的冲程速度 (最高达240 spm)，让制造过程中，大大减少泵的尺寸、重量、成本，及降低脉动。
无污染设计
过流端零件均采用氟树脂材质，没有金属零件外露的设计，外壳采用氟树脂材质。使用独有的轴封 (已申请专利)，能显著降低颗粒的产生。
液体输送温度范围宽泛/高吐出压力
液体输送温度范围高达5 - 180°C，吐出压力高达45MPa。不仅适用于清洗和CMP制程，同时适用于化学液体供药。
易于维护
更换开关无需拆卸，不需定期收紧螺栓，减少了停机时间。
传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量。
规格
最大吐出量 | 55 L/min |
最大吐出压力 | 0.5 MPa |
最大耗气量 | 670 NL/min |
最大冲程率 | 240 spm |
主要材质 | PTFE, PFA |
液体输送温度范围 | 5 ~ 180 °C |
S 系列
外型小巧、低成本、高速冲程的气动风囊泵
高速冲程
提升泵的冲程速度 (最高达240 spm)，让制造过程中，大大减少泵的尺寸、重量、成本，及降低脉动。
无污染设计
过流端零件均采用氟树脂材质，没有金属零件外露的设计，外壳采用氟树脂材质。使用独有的轴封 (已申请专利)，能显著降低颗粒的产生。
液体输送温度范围宽泛/高吐出压力
液体输送温度范围高达5 - 180°C，吐出压力高达45MPa。不仅适用于清洗和CMP制程，同时适用于化学液体供药。
易于维护
更换开关无需拆卸，不需定期收紧螺栓，减少了停机时间。
传感器驱动系统
内置式开关通过传感器驱动系统打开/关闭电磁阀。因此，即使连接各种控制器，亦可以轻易控制吐出量。
规格
最大吐出量 | 55 L/min |
最大吐出压力 | 0.5 MPa |
最大耗气量 | 670 NL/min |
最大冲程率 | 240 spm |
主要材质 | PTFE, PFA |
液体输送温度范围 | 5 ~ 180 °C |
